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工业超纯水水质标准

文章作者:水处理设备 发表时间: 浏览次数:

 

化学指标单位:μg/L


序号

水质项目

一级高纯水指标

二级高纯水指标

1

电阻率(25MΩ·cm

≥15

≥10

2

电导率,μs/cm

0.05

0.1

3

PH

6.87.2

6.67.4

4

细菌总数,个/mL

3

9

5

微粒(直径>0.5μm,粒/mL

150

300

6

二氧化硅

10

20

7

有机物(以COD计)

0.3

0.5

8

Na

0.5

2

9

Fe

1

2

10

Cu

0.5

1

11

Ca

1

3

12

Mg

0.2

1

13

Zn

0.5

1

14

Mn

0.2

0.5

 

说明:①一级高纯水合用于大规模集成电路,微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。
   ②二级高纯水合用于一般电路,分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。
   ③本表按1980年电子产业部尺度摘录。
 


 

 

"工业超纯水水质标准"由“中水回用”厂家-365bet官网地址设备整理发布,如需转载请注明来源及出处,原文地址:/news/318.htm

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